8月3日消息，昨天中微公司迎來成立20周年紀(jì)念日。同日，總投資15億元的中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目正式落成啟用。

中微公司創(chuàng)始人、董事長兼總經(jīng)理尹志堯致辭中表示，20年前，中微公司從一張白紙開始決心研發(fā)高端半導(dǎo)體設(shè)備，為產(chǎn)業(yè)需求提供優(yōu)質(zhì)高效和低成本的解決方案?！斑^去的20年是全球數(shù)碼時(shí)代大發(fā)展的20年，也是中國集成電路產(chǎn)業(yè)急起直追、國產(chǎn)化進(jìn)程加速落地的20年。”

在尹志堯看來，“中微公司抓住了每一次技術(shù)更新的機(jī)遇，抓住了一次次政策改革的機(jī)遇。下一個(gè)20年，公司要實(shí)現(xiàn)新的跨越。”尹志堯稱，立志將中微公司打造成為“集成電路微觀加工設(shè)備的百年企業(yè)”。

值得一提的是，中芯國際創(chuàng)始人張汝京、長江存儲(chǔ)董事長陳南翔在中微公司20周年慶典活動(dòng)中露面并致辭。

20年歷程多設(shè)備線突破發(fā)展

回顧中微公司二十年發(fā)展歷程，從尹志堯博士2004年歸國創(chuàng)立僅有15人團(tuán)隊(duì)的中微，到如今，這家公司已逐漸成長為全球員工超過兩千人。同時(shí)，中微股份也從張江高科技園區(qū)內(nèi)一間不起眼的辦公室，逐步發(fā)展為廠房和辦公樓面積即將達(dá)到45萬平方米的規(guī)模。

從2007年首臺(tái)刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備研制成功并運(yùn)往國內(nèi)客戶，到2024年，中微公司累計(jì)已有超5000個(gè)反應(yīng)臺(tái)在國內(nèi)外130多條生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)和大規(guī)模重復(fù)性銷售。

尹志堯表示，半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)是數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。中微公司刻蝕機(jī)包括CCP高能等離子刻蝕機(jī)、ICP低能等離子刻蝕機(jī)。憑借行業(yè)首創(chuàng)的刻蝕設(shè)備雙臺(tái)機(jī)技術(shù)，中微公司率先提出“皮米級(jí)”加工精度概念，其刻蝕精度已達(dá)到100“皮米”以下水平，且產(chǎn)品具備刻蝕應(yīng)用覆蓋豐富等優(yōu)勢(shì)，可滿足90%以上的刻蝕應(yīng)用需求，技術(shù)能力已覆蓋5納米及以下更先進(jìn)水平。

MOCVD設(shè)備方面，中微公司已在氮化鎵及LED設(shè)備市場(chǎng)，取得具有優(yōu)勢(shì)的占有率。中微公司自推出第一代MOCVD設(shè)備以來，不斷豐富產(chǎn)品線且快速升級(jí)迭代，目前在Mini LED等氮化鎵基設(shè)備領(lǐng)域，中微公司的市場(chǎng)占有率居前，并持續(xù)開發(fā)用于氮化鎵、碳化硅等功率器件及Micro-LED器件制造的MOCVD設(shè)備。

在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域，中微公司推出了Preforma Uniflex CW等新產(chǎn)品，獲得客戶重復(fù)性訂單并實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)多元化發(fā)展。今年，中微公司計(jì)劃將推出超過10款新型薄膜沉積設(shè)備，進(jìn)一步擴(kuò)大薄膜沉積領(lǐng)域產(chǎn)品覆蓋度。

此外，中微公司新開發(fā)的硅和鍺硅外延EPI設(shè)備、晶圓邊緣Bevel刻蝕設(shè)備等多款新產(chǎn)品，也會(huì)在近期投入市場(chǎng)驗(yàn)證。

值得關(guān)注的是，整合產(chǎn)業(yè)鏈上下游相關(guān)資源也是中微公司面向未來發(fā)展的一項(xiàng)發(fā)力點(diǎn)，通過積極考慮投資和并購，推動(dòng)該公司更快發(fā)展。中微公司預(yù)計(jì)，在未來的五到十年，將通過自主研發(fā)以及攜手行業(yè)合作伙伴，覆蓋集成電路關(guān)鍵領(lǐng)域50%至60%的設(shè)備。

臨港產(chǎn)業(yè)化基地啟用

中微公司臨港產(chǎn)業(yè)化基地今日（8月2日）正式啟用，該基地占地約157畝、總建筑面積約18萬平方米，項(xiàng)目基礎(chǔ)建設(shè)總投資約15億元。

據(jù)了解，該項(xiàng)目配備行業(yè)先進(jìn)實(shí)驗(yàn)室、高標(biāo)準(zhǔn)潔凈室、先進(jìn)生產(chǎn)車間及智能化立體倉庫等設(shè)施，可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)全程數(shù)字化、智能化管理，將能夠?yàn)樵摴具M(jìn)一步強(qiáng)化生產(chǎn)能力、研發(fā)能力和科技創(chuàng)新水平提供支撐。

目前，位于上海滴水湖畔的中微臨港總部暨研發(fā)大樓也正在建設(shè)中，建成后占地面積約10萬平方米。未來，中微公司的生產(chǎn)和研發(fā)基地總面積將達(dá)到約45萬平方米。

“首過往的二十年，中微公司實(shí)現(xiàn)了從一到十的進(jìn)展。展望下一個(gè)二十年，我們要實(shí)現(xiàn)十到一百的跨越?！币緢虿┦勘硎?，立志將中微公司打造成為半導(dǎo)體集成電路微觀加工設(shè)備的百年企業(yè)，同時(shí)中微目標(biāo)在2035年在規(guī)模和競(jìng)爭(zhēng)力上成為全球第一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司。

尹志堯博士是1944年生人，今年已有80歲。他在現(xiàn)場(chǎng)表示，他對(duì)中微公司的發(fā)展前景有充分信心，同時(shí)期待20年后在慶祝中微公司40周年之時(shí)再相聚。

在今日（8月2日）的中微公司20周年慶上，中芯國際創(chuàng)始人張汝京、長江存儲(chǔ)董事長陳南翔出席活動(dòng)，并作為中微公司的客戶或合作伙伴致辭。

張汝京回憶了中微公司創(chuàng)立前，自己鼓勵(lì)尹志堯博士回國創(chuàng)業(yè)，并在中微股份2007年推出第一臺(tái)雙腔刻蝕設(shè)備后中芯國際當(dāng)即采購使用的經(jīng)歷。

陳南翔發(fā)言稱，國內(nèi)做半導(dǎo)體設(shè)備的公司很多，在真正有創(chuàng)新力的企業(yè)中，中微公司是典型代表?！?0年來中微公司也成就了國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，并為行業(yè)留下了許多難得的發(fā)現(xiàn)機(jī)遇。”