快科技1月2日消息，據(jù)ASML官方公告，2023年NXT：2050i、NXT：2100i光刻系統(tǒng)的出貨許可證被撤銷，不過這沒有太多可以擔(dān)心的地方。

按照ASML的說法，2023年基本交付了中國(guó)大陸客戶預(yù)付的DUV積壓訂單（至于2024年是不是可以繼續(xù)，ASML之前就表示不能確定。）。

事實(shí)上，2023年ASML一直都在向中國(guó)客戶供應(yīng)光刻機(jī)，其中就包含了NXT:2000i和更先進(jìn)的DUV型號(hào)的產(chǎn)品，且基本交付了中國(guó)大陸客戶預(yù)付的DUV積壓訂單。

至于先進(jìn)的7nm、14nm等先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，ASML依然不能給中國(guó)客戶出售。

據(jù)ASML官網(wǎng)提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機(jī)產(chǎn)品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML官網(wǎng)上關(guān)于這一臺(tái)TNXT:1980Di介紹，在分辨率方面，寫到是大于等于38nm（可以支持到7nm左右），而這是指一次曝光分辨率，事實(shí)上光刻機(jī)是可以進(jìn)行多次曝光。