不是臺積電!全球首臺2nm光刻機已向Intel交付
來源:驅動中國 編輯:驅動中國 時間:2023-12-25 10:15人閱讀
驅動中國消息,荷蘭阿斯麥ASML公司已經優先向美國英特爾公司交付其新型高數值孔徑的2nm極紫外光刻機。據悉,每臺新機器的成本超過3億美元,可幫助計算機芯片制造商生產更小、更快的半導體。
“耗時十年的開創性科學和系統工程值得鞠一躬!我們很高興也很自豪能將我們的第一臺高數值孔徑的極紫外光刻機交付給Intel。”ASML公司說道。
ASML官方社交媒體賬號發布了一張現場照片,照片中可以看到,光刻機的一部分被放在一個保護箱中,箱身綁著一圈紅絲帶,正準備從其位于荷蘭埃因霍溫的總部發貨。高數值孔徑的極紫外光刻機組裝起來比卡車還大,需要被分裝在250個單獨的板條箱中進行運輸,其中包括13個大型集裝箱。它們將從2026年或2027年起用于商業芯片制造。
公開資料顯示,NA數值孔徑是光刻機光學系統的重要指標,直接決定了光刻的實際分辨率,以及最高能達到的工藝節點。ASML 9月份曾宣布,將在今年底發貨第一臺高數值孔徑EUV光刻機,型號Twinscan EXE:5000,可制造2nm工藝乃至更先進的芯片。
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